一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台.pdfVIP

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2023-07-26 发布于四川
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一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台.pdf

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本发明提供一种高效率的金刚石薄膜制备用沉积台，涉及金刚石薄膜制备技术领域。该高效率的金刚石薄膜制备用沉积台，包括基片台，所述基片台内置有螺旋盘状水冷管，所述螺旋盘状水冷管中心端口向下延伸形成进水管，并与水冷循环设备的输出端连通，所述螺旋盘状水冷管最外层端口向下延伸形成出水管，并与水冷循环设备的输入端连通。在金刚石薄膜制备过程中，通过在基片台内置螺旋盘状水冷管，并由其中心进水，边缘末端出水，使冷却水先对基片中心进行冷却，再沿螺旋盘状水冷管逐渐向四周流动，从而达到基片表面温差减小的效果，避免了因基片

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116479409 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202310434499.6 (22)申请日 2023.04.21 (71)申请人佛山曜世新材料科技有限公司地址