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本实用新型涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种双流体喷嘴装置，包括由非金属导电或防静电材质制作的喷嘴壳体与喷嘴芯；所述喷嘴芯从喷嘴壳体的上部螺纹旋入到喷嘴壳内，喷嘴芯的中部从上到下设有第一流体通道，所述喷嘴壳体的侧部设有第二流体通道，第二流体通道与喷嘴壳体内部的腔体连通，喷嘴芯的上部与喷嘴壳体的腔体之间设有密封圈，喷嘴芯的下部与喷嘴壳体之间留有间隙，喷嘴壳体的下部设有流体混合区域。本实用新型喷嘴壳体与喷嘴芯全部采用导电或防静电非金属材料制作，因而可以在有静电防护需求情况下使用。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219400628 U
(45)授权公告日 2023.07.25
(21)申请号 202222343599.1 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2022.09.02
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