一种显微镜探针组件.pdfVIP

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2023-07-26 发布于四川
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一种显微镜探针组件.pdf

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本实用新型公开了一种显微镜探针组件，包括扫描器、底座、探针架和探针，底座通过绝缘陶瓷片固定设置在扫描器上，探针架设置在底座上，底座的底部设置有用于信号线连接的信号线端子，探针安装在探针架上，还包括探针架磁块，底座磁块和探针固定件，所述探针架磁块固定安装在探针架的下表面，探针架和底座之间通过探针架磁块和底座磁块磁性连接，结构简单，连接方便，易于操作，且底座磁块固定安装在底座上表面中心处开设的凹槽中，探针架和底座连接时探针架磁块沉入到凹槽中，可以提升探针组件的横向吸附力，提高整体刚性。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219417511 U (45)授权公告日 2023.07.25 (21)申请号 202320318548.5 (22)申请日 2023.02.27 (73)专利权人苏州标度量子科技有限公司地址