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本实用新型公开了一种模块化设计的自供紫外光源的抛光头装置，包括自供紫外光源模块、装卡模块和晶圆保持模块，其中自供紫外光源模块包括光源电路、中间圆盘、防护罩、环形石英玻璃板、密封盖和O型密封垫圈，该模块中的光源电路包括环形电路板、锂电池组和红外遥控开关；装卡模块包括上圆盘、装卡圆柱和弹簧钢片；晶圆保持模块包括底圆盘和保持环。本装置采用模块化的设计，方便了单个模块互换以及模块间装配；本装置将紫外光源装置与抛光头装置高度集成，提高了紫外光能利用率并节约了大量紫外光能；本装置中的机械结构采用铝合金，减少
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209902961 U
(45)授权公告日
2020.01.07
(21)申请号 20192
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