一种保护真空规管内腔的装置.pdfVIP

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2023-07-29 发布于四川
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一种保护真空规管内腔的装置.pdf

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本发明提供了一种保护真空规管内腔的装置，属于真空规管防尘技术领域，解决了现有真空规管使用滤网的防尘效果不佳导致真空规管使用寿命缩短以及真空度的测量精度降低的问题。其包括规管管壳以及设置在规管管壳通道中的多孔滤芯，所述多孔滤芯的外侧套设有外壳，外壳上下两端设置有开口，多孔滤芯的厚度为3mm。在规管管壳内设置多孔滤芯对连通规管与腔室的通道进行隔离过滤，多孔滤芯由于其内部为错综复杂的细小孔隙，粉尘进入孔隙后会附着在孔隙内，相较于使用滤网，可大大提高过滤效果，避免粉尘附着在真空规管中的灯丝表面影响灯丝的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116492772 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202310599736.4 (22)申请日 2023.05.25 (71)申请人成都国光电气股份有限公司地址