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本发明提供一种物理量传感器及其制造方法、电子设备和移动体，其特征在于，该物理量传感器具有：支承部件；以及传感器元件，其被支承于所述支承部件，所述传感器元件具有：振动片；驱动信号布线，其配置在所述振动片上；以及第1检测信号端子和第2检测信号端子，它们配置在所述振动片上，所述支承部件具有：基板，其与所述传感器元件接合；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，它们配置在所述基板上，在从所述传感器元件与所述基板重叠的方向进行平面观察时，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线分别具有沿着与所述第1轴交
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110319821 A
(43)申请公布日
2019.10.11
(21)申请号 20191
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