原创力文档- 33
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- 2023-07-29 发布于四川
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本发明涉及光刻机物镜技术领域，尤其为一种光刻机物镜结构，包括物镜主体、水冷装置和散热装置，所述物镜主体外侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置远离物镜主体的一侧与散热装置固定连接，所述物镜主体包括外壳、镜片主体和定位装置，所述外壳的个数共有四个，且四个所述外壳在镜片主体外侧呈均匀分布，所述镜片主体外侧设置在外壳一侧，本发明中，通过设置的外壳、镜片主体、固定盖、定位装置、夹持块、推板、螺丝、连接板、定位环、螺栓和定位主体，可以方便的对镜片主体和水冷装置进行组装，同时在夹持板对外壳进行夹持时，在第一弹簧
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116500870 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202310719268.X
(22)申请日 2023.06.16
(71)申请人 张家港奇点光电科技有限公司
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