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本发明公开一种高光学稳定性的超窄带滤光片及其制备方法，包括基底及设置在基底上的超窄带滤光膜。基底为FEP光学塑料，超窄带滤光膜为修正的三腔结构。膜系选用高折射率TiO2膜和低折射率SiO2膜，所有膜层均釆用离子辅助淀积，离子能量为350eV，到达基底的氩离子数与淀积薄膜分子数之比JI/JM均大于0.19，确保膜层聚集密度达到1，以消除吸水引起的波长漂移。FEP塑料的热线膨胀系数达140×10‑6/度，并选择热线膨胀系数小、折射率温度系数正负匹配的膜料，以消除环境温度引起的波长漂移。这种超窄带滤光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111308599 A
(43)申请公布日
2020.06.19
(21)申请号 20201
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