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本实用新型公开了一种探针卡槽盒,属于量子芯片检测设备领域,所述探针卡槽盒包括底板、盖板和连接器;所述底板上开有若干用于放置量子芯片的卡槽;所述盖板可拆卸盖在所述底板上开有卡槽的表面,所述盖板上与所述底板上的各所述卡槽相对位置处开有通孔;各所述连接器分别可拆卸安装在所述盖板上的各所述通孔内,所述连接器远离底板的一端设有探针接头,靠近底板的一端设有一对接触针,各所述接触针在所述盖板盖合在所述底板上后,分别与放置在所述卡槽内的量子芯片的正极板和负极板接触并电连,本实用新型能够避免采用移动探针与量子芯片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209927903 U
(45)授权公告日
2020.01.10
(21)申请号 20192
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