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本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种刻蚀机钟摆阀外壳安装工具，包括：运载框架、设于所述运载框架上且用于容置钟摆阀外壳的安装仓以及设于所述运载框架底端的行走组件；所述运载框架的顶端设有水平承载台，所述水平承载台上对称开设有与所述安装仓滑动连接的滑槽，所述安装仓的底端一体连接有与所述滑槽相匹配的条状滑块，所述安装仓的一侧设有与所述安装仓保持有间隙的推拉把手；所述行走组件包括与所述运载框架转接的行走主体、转接在所述行走主体上的行走轮以及设于所述行走主体一侧且用于锁止所述行走轮的锁止件。本申请提高了
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219426682 U
(45)授权公告日 2023.07.28
(21)申请号 202320297591.8
(22)申请日 2023.02.21
(73)专利权人 粤芯半导体技术股份有限公司
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