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一种半导体晶圆对准装置、对准方法以及对准系统，半导体晶圆对准装置包括腔室，腔室中设置有对准标记，对准方法包括：在腔室中放置晶圆，对准标记设置在晶圆边缘以外；从晶圆和对准标记的背面发射照明光，从而第一待测图像中的晶圆图像的中心和边缘的明亮对比度较高，晶圆的图像的边缘和对准标记的清晰度较高；从而第一待测图像中的晶圆的图像和对准标记的图像的形成质量好，易于精准获取晶圆中心位置与基准坐标系的基准点的第一位置偏差；晶圆的边缘设置有缺口，第一待测图像中具有清晰的缺口图像，依据清晰的缺口图像，精准的获得缺口的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116504698 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202210058549.0
(22)申请日 2022.01.19
(71)申请人 上海凯世通半导体
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