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用于200微米以下薄化基板的载入机构及载入方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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用于200微米以下薄化基板的载入机构及载入方法.pdf

    本发明公开一种用于200微米以下薄化基板的载入机构及载入方法，其适于在一处理薄化基板的处理设备中进行，该载入机构至少包含有设于处理设备上的一预对准装置及一搬运装置，其中预对准装置至少具有一供被选择性放置薄化基板的基板平台，且基板平台可以被选择性对薄化基板生成一吸附用的静电场，搬运装置至少具有一用于抓取薄化基板的基板牙叉，且基板牙叉可以被选择性对薄化基板生成一吸附用的静电场，以此，使得该薄化基板的翘曲部分能被逐步作用拉平，进而可以有效地稳固、且平整的吸附，且在预对准后可以提高薄化基板放置于处理设备

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116504705 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202210857903.6 (22)申请日 2022.07.20 (30)优先权数据 111101956 2022.

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