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用于薄化基板的预对准装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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用于薄化基板的预对准装置及方法.pdf

    本发明公开一种用于薄化基板的预对准装置及方法，其中该预对准装置具有一机座，且该机座上设有被允许选择性相对位移的一驱动单元及一传感器单元，其该驱动单元具有延伸通过该机座、且被旋转的一输出轴，而该输出轴上设有一被用于放置该薄化基板的基板平台，该基板平台可以被选择性生成一吸附该薄化基板的静电场，又该传感器单元可在检测范围内检知该放置于基板平台的薄化基板的定向刻痕，以执行该薄化基板预对准的定向，以此，使得该基板平台能相对该薄化基板生成静电场，令该薄化基板可以被完全平贴吸附于该基板平台上，能提高该薄化基板

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116504699 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202210857922.9 (22)申请日 2022.07.20 (30)优先权数据 111101958 2022.

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