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成膜装置及其检查方法.pdfVIP

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  • 2023-07-29 发布于四川
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成膜装置及其检查方法.pdf

    本发明涉及成膜装置及其检查方法，提供高精度地检测来自成膜装置的大气箱的泄漏的技术。使用如下的成膜装置，所述成膜装置具备：大气箱，其配置在真空腔室内，且内部被保持为大气环境；第一供给部件，其向位于大气箱的多个部位的、大气箱的内部的大气泄漏的泄漏部位的候补中的一个部位供给氦气；第二供给部件，其向多个部位中的未被供给氦气的部位供给与氦气不同的气体；以及判定部件，其判定是否从被第一供给部件供给氦气且被第二供给部件供给不同的气体的大气箱检测到泄漏的氦气。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116497345 A (43)申请公布日 2023.07.28 (21)申请号 202211622059.5 (22)申请日 2022.12.16 (30)优先权数据

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