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本发明涉及一种用于高精度表面形貌检测的准线性色散物镜，所述色散物镜的光线系统包括沿光线入射方向依次设置的光纤、发散透镜、中继透镜组和会聚透镜组和待测物体；所述发散透镜为平凹负透镜A‑1，所述中继透镜组由弯月正透镜B‑1、弯月正透镜B‑2以及弯月正透镜B‑3组成；所述会聚透镜组由双凸正透镜C‑1以及弯月正透镜C‑2组成。基于几何像差原理，考虑了色散距离与波长的非线性关系和色散范围的矛盾点，提出逐步提升光线与系统中镜片的交高来扩大色散范围，设计采用全球面和非密接透镜的形式，有利于球差的校正，不仅获得
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114236761 A
(43)申请公布日 2022.03.25
(21)申请号 202111558675.4
(22)申请日 2021.12.20
(71)申请人 福建福光股份有限公司
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