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一种程控离子源中和电流稳定组件.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种程控离子源中和电流稳定组件.pdf

    本实用新型公开了一种程控离子源中和电流稳定组件，包括：一电路箱，所述电路箱内部分别设置有单片机、直流互感器、比较器、PID调控器和隔离电路板，并通过连接导线将输出端与输入端电性连接；一触摸屏，所述触摸屏位于所述电路箱上，并与所述单片机通过数据连接线相连接；一质量流量计，所述质量流量计与所述隔离电路板通过连接导线电性连接，所述质量流量计的输出端与单片机通过连接导线电性连接。本实用提供的程控离子源中和电流稳定组件，通过比较器对比电路中的中和电流和模拟电流，并进行检查和调整，从而利用改变充气量的多少实

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209947789 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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