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- 2023-07-31 发布于四川
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本实用新型公开了一种程控离子源电源中和电流显示组件，包括：一霍尔离子源设备；所述霍尔离子源设备内部的电路板上分别设置有中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块和终端，所述中和电流取样模块、电流放大模块、中央处理模块对应的电子元件或电子组件皆串连在所述霍尔离子源设备内部的电路板上。本实用提供的程控离子源电源中和电流显示组件，通过中和电流显示组件对霍尔离子源设备运行中的中和电流的大小，从而确定离子源能量的大小，并通过显示屏进行显示，方便使用者在生产过程中及时的去发现并控制中和电流的大小，避免脱膜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209947790 U
(45)授权公告日
2020.01.14
(21)申请号 20192
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