JBT 9125-2007真空技术 涡轮分子泵.pdf

ICS 23.160J78备案号：21689--2007中华人民共和国机械行业标准JB/T 9125--2007代替 JB/T 9125—1999真空技术涡轮分子泵Vacuum technology --- Turbomolecular pumps2007-08-28 发布2008-02-01实施中华人民共和国国家发展和改革委员会发布 JB/T 9125-—2007目次前言1范围2规范性引用文件.3术语和定义4型式和基本参数.4.1型号表示方法.4.2基本参数5技术要求...6　 测试方法。.．最低工作压力测试…6.2压缩比测试体积流率测试.6.36.4起动时间测试.6.5振动测试..6.6噪声测试6.7转速测试，6.8电源测试.6.9平均无故障工作时间试验。6.10　连续运转试验7检验规则8标志、包装、运输和贮存附录A（资料性附录）涡轮分子泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈A.1涡轮分子泵进气口连接法兰及密封圈A.2涡轮分子泵出气口连接法兰及密封圈10图 A.1卡钳法兰连接。图 A.2活套法兰的连接图 A.3卡钳法兰或活套法兰肩圈型式图 A.4支架型式，图A.5法兰套环型式图 A.6弹性卡圈型式.10图 A.7卡钳螺钉组件型式.10图A.8DN50连接器..图 A.9DN50 支架.图 A.10“O”形密封圈..*.11图 A.11DN50卡箍.表 1泵的基本参数.表 A.1法兰的连接尺寸表 A.2卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸 JB/T 9125—2007附录A（资料性附录）涡轮分子泵进气口、出气口的连接法兰及密封圈A.1涡轮分子泵进气口连接法兰及密封圈涡轮分子泵的进气口法兰选用金属密封真空法兰或橡胶密封真空法兰。A.1.1泵用金属密封真空法兰执行GB/T6071的规定。A.1.2泵用橡胶密封真空法兰按下面的规定。A.1.2.1法兰的连接型式见图A.1和图A.2，尺寸见表A.1。O形圈连接法兰支架nx卡钳组件DN分子泵法兰图 A.1卡钳法兰连接○形圈连接法兰支架n×垫片do分子泵法兰法兰套环DNm×螺栓MDd图 A.2活套法兰的连接 JB/T 9125-2007表 A.1法兰的连接尺寸单位：mm活套法兰用螺栓（GB/T5782-2000）、公称通径卡钳法兰用卡钳组件DdH垫片（GB/T848—2002）DN卡钳螺纹ndomM639511012484M810013014512 48816010X 60820024026012 61012M1025029031012 612-83203703951712400450480178M12×781216M12500550580171216a实际公称通径为150mm。A.1.2.2卡钳法兰或活套法兰肩圈型式见图A.3，尺寸见表A.2。D4.2 maxD3RDNDiD2D图A.3表 A.2卡钳法兰或活套法兰肩圈尺寸单位：mm公称通径DD1D2D3D4HH1H3H4RDN639576807290125641.5100130107115102125125641.5160a180157165153.517512 5642.5200240208225213235125642.5250290258275261284125642.5320370330305320365177.51262.5400450410435400445 177.51264500550512535500545177.51264实际公称通径为150mm。A.1.2.3支架型式见图A.4，尺寸和配用的O形圈见表A.3。8 JB/T 9125-2007BC图 A.4支架型式表A.3支架尺寸和配用0形圈单位：mmO 形圈公称通径HhRAB(GB/T 3452.1--2005)DN72 762.6698@75 × 5.369910210882.6Φ106× 5.31003.9-0.115015315982.6$155× 5.316021321983.9-0.12.6$218 × 5.320021026183.9.-0.12.6$265 X 5.32502582632032682.6$325 X 5.3320317394 400415.13.5@412 ×7400515 14.54.5_0.13.5$515×7500494500A.1.2.4法兰套环型式见图A.5，尺寸见表A.4。中$x?AHD,D3D4图A.5法兰套环型式表 A.4法兰套环尺寸单位：mm公称通径D1D2D:D4HH1RnXsdxDN95.598.511012 5.51.51304×@9@1.0E9133.5145165125.5 1.5130.58×9$1.0100160200225166.52.58X@11180.7185.7@1.0200240