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一种石英玻璃沉积炉用炉罩.pdfVIP

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  • 2023-07-31 发布于四川
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一种石英玻璃沉积炉用炉罩.pdf

    本实用新型公开了一种石英玻璃沉积炉用炉罩，用于对沉积炉进行隔离防护，炉罩包括上罩体，具有加料孔和操作视窗，设置在沉积炉顶部外，用于对沉积炉的燃烧器进行隔离；下罩体，具有安装孔和看火窗，设置在沉积炉侧壁外，用于对沉积炉的炉体进行隔离；以及排气机构，设置在所述上罩体和下罩体外，用于对所述上罩体和下罩体内部的尾气排放；所述上罩体位于下罩体上方，其底端与下罩体顶端连接；所述下罩体内壁与沉积炉的炉体侧壁之间存在间隙。炉罩还包括补气机构，用于对所述上罩体和下罩体内部补充气体。本实用新型提供了一种石英玻璃沉积

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209940828 U (45)授权公告日 2020.01.14 (21)申请号 20192

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