仪器精度理论.pptVIP

C2 仪器精度理论 主要内容： 分析影响仪器精度的各项误差来源及特性 研究误差的评定和计算方法（重点） 研究误差的传递、转化和相互作用的规律（难点） 仪器误差的分析与合成（重点） 仪器误差的设计与分配（重点） 2-1 仪器精度理论中的若干基本概念 2-2 仪器误差的来源与性质 2-3 仪器误差的分析与计算 2-4 仪器误差综合 2-5 仪器误差分析与综合举例（立式光学计原理与精度分析） 2-6 仪器精度设计 上机试验与思考题： 当量杆4发生微小位移s后，使平面反射镜3绕其支点O摆动φ角，量杆的中心线至支点O的距离为a; 由于平面反射镜3摆动φ角，就使反射光线与其入射光线之间偏转2φ角，于是，分划板的刻线影像偏移y,故有 y=ftan2φ f为物镜的焦距 光学杠杆的放大倍数k 一般光学计，f=203.5mm，a=5.0875mm，则k=80；再通过12倍目镜来观察，仪器的总放大倍数为80?12=960倍。 分度值为0.001mm，示值范围为±0.1mm，测量范围为180mm。 二、精度分析： （一）主要未定系统误差 1、分划板的刻划误差Δ1所引起的局部误差 Δ1=±1μm, （折算到测量端，放大倍数为31.25) e1= ±1/31.25μm= ±0.032μm 2、原理误差 可见，仪器的机构传动特性不是线性的，但目镜分划板是按等分度刻划的 由于仪器非线性传动特性与目镜分划板是按等分度刻划的矛盾所引起的原理误差为 当f=100mm，a=6.4mm， 仪器的示值范围为smax±0.1mm，则最大显示时ymax=k smax =3.125 则最大原理误差为 Δmax=±0.024μm 综合调整环节来补偿原理误差，其补偿原理是通过调整杠杆短臂的长度a来实现。 为了减小原理误差，可调整杠杆短臂的长度使原理误差在y=0及最大指示y=±ymax处都为零，而在y=±y1处原理误差为最大。 则当f=100mm，a=6.4mm， 仪器的示值范围为smax±0.1mm，则最大显示时ymax=k smax =3.125 此时 最大原理误差为 e2=Δmax=±0.01μm 3、物镜畸变所引起的局部误差 4、由于杠杆短臂调整不准所引起的局部误差 （二）主要随机误差 1、由于量杆配合间隙引起的局部误差 2、读数误差 仪器单次读数误差可估计为仪器分度值的1/10，为确定一个量值需两次读数 3、测量力变动引起的局部误差 比较测量，则测量力引起的压陷变形误差。（球形测头） 由于测量力变动引起的压陷变形量的变化，即测量力变动引起的误差（上式的微分法计算，得） 将上述各项未定系统误差与随机误差综合，得立式光学计合成总不确定度为 测量力变动引起的误差 以P=2N，d=10mm ，ΔP= ±0.2N，测量力引起的测量误差 （三）测量误差 1、标准件误差 光学计的测量为相对测量法，量块的误差将影响测量的结果。 若选用的量块为4等，不超过5块，4等量块的检定误差为 ΔL= ±（0.2+2.0x10-3 L)μm 2、温度引起的测量误差 量块的线膨胀系数α0为11.5 × 10-6/0C 被测件对量块的线膨胀系数差α-α0为±0.3×10-6/0C 室温对标准温度200C的偏差Δt为±30C 被测件对量块的温度差t-t0为±0.50C 三、测量总误差 将上述仪器误差、标准件误差、测量力引起的误差与温度误差按方和根法计算，等立式光学计测量总误差为 例：数字显示式立式光学计的关键环节误差分配 要求：允许的仪器精度指标 测微仪精度很高 1）调整反射镜摆动臂长a，部分消除原理误差； 2）合理设计仪器的各种尺寸和装配精度。 按照等精度原则分配，允许每个源误差产生的局部误差在测量端度量 3项随机误差源： 超 示值变动允许值 余 测量力变动 余 量杆间隙 超 标准件误差 余 分划板刻划累计误差Δ1 余 残余的原理误差 说明 3项未定系统误差源： 若测量开始时计数器“置零”。则 则仪器测量误差为 三、几何法 利用源误差与局部误差之间的几何关系，分析计算源误差对仪器精度的影响。 具体步骤： 画出工作原理图，按比例放大，画出局部误差与源误差之间的关系； 由几何关系写出局部误差表达式； 将源误差代入，求出局部误差大小。 例：度盘安装偏心所引起的读数误差 R为度盘刻划半径； e为偏心量。 例：螺旋测微机构误差分析 机构传动方程 由于源误差为夹角误差θ， 实际移动距离为 位置误差为 四、作用线与瞬时臂法 是基于源误差在机构中的传递机理与机构传递位移的过程紧密相关这一设想而提出的。 1、机构传递位移的基本公式 1）传递位移的机构 推力传动 摩擦力传动