JBT 7707-1995离子镀硬膜厚度试验方法球磨法.pdf

A29JB中华人民共和国机械行业标准JB/T 7707-95离子镀硬膜厚度试验方法球磨法1995-06-20 发布1996-01-01 实施中华人民共和国机械工业部发布53 中华人民共和国机械行业标准JB/T 7707 - 95离子镀硬膜厚度试验方法球磨法主题内容与适用范围本标准规定了离子镀硬膜厚度的球磨试验方法。本标准适用于由 PVD和CVD方法制成的各种硬膜.也可用于氧化膜和电镀层厚度的试验。球磨法原理和膜厚计算球磨法属断面观察法·它通过一个添加适量研磨膏的旋转钢球.在试件表面研磨出一个作观察和测量用的球面凹坑。钢球与膜层表面及基体的接触部分是两个同心圆.见图1。膜层基体基体图1 研磨凹坑断面图膜层厚度与钢球半径和研磨凹坑尺寸有关.如式(1)所示：1)2R式中：T~-膜层厚度·μm:R钢球半径μm;2a-.研磨后膜层表面形成的边缘直径·um：机械工业部1995-06-20批准:1996-01-01 实施 JB/T 7707 --9526-研磨后膜层与基体连接界面的边缘直径，μm。a-b注：①‘钢球在圆柱体表面上的研磨凹坑为一椭圆球面,则 2α 和 2b 为椭圆的长轴。②）复台膜在研磨后得到的是几组同心圆环（或椭圆环）,每一组圆环代表相应的膜层，可以测得各膜层的厚度。3试验方法3.1球磨装置球磨装置主要由磁性夹具、电动机、转轴、载物台及底板和电源构成，见图2。测试时，调节转轴位置和载物台倾角，使钢球与试件的测试点和转轴接触，在电动机转动时，钢球受摩擦力矩的作用而旋转图 2球磨装置3. 2试验要求a.试件的基体表面粗糙度 R,≤0.8 μm;b.钢球采用滚珠轴承钢钢球.直径 10～30 mm.一般取 20 mm;金刚砂研磨膏粒度为 3 μm。C.3.3试验程序a.将试件装夹在载物台上；b.将钢球搁置在试件的测试点（曲面应是其顶点)和转轴上，转轴的轴线应与膜面平行：在钢球表面涂上适量研磨膏.滴酒精稀释；c.d.启动电动机使钢球旋转；研磨深度达到膜层厚度的两倍时停止研磨，擦净试件表面；f.置试件于实物光学显微镜的载物台上。在放大100倍下测量研磨凹坑的尺寸；g.按式(1)计算膜层厚度。2 JB/T 7707-95附加说明：本标准由全国金属与非金属覆盖层标委会提出。本标准由武汉材料保护研究所归口。本标准由上海工具厂负贵起草。本标准主要起草人金达义。3 LULLIR /T中华人民共和国机械行业标准离子镀硬膜厚度试验方法球磨法JB, T 7707 - 95机械工业部机械标准化研究所出版发行机械工业部机械标准化研究所印刷（北京8144信箱邮编100081）版权专有不得翻印*开本880×12301/16印张1/2字数6.0001996年1月第一版1996 年1月第一次印印数 00.001-500编号 95--005