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本实用新型公开一种拼接式的硅片承载框，包括多条横支承杆、多条纵支承杆以及安装框架，所述多条横支承杆和多条纵支承杆设置在安装框架内，所述多条横支承杆和多条纵支承杆相互交错设置形成多个矩形的承载槽，且多条横支承杆和多条纵支承杆的两端部均连接在安装框架上；其中，所述横支承杆上设有多个等距设置的安装槽，所述纵支承杆上设有多个卡位槽，且所述卡位槽与安装槽匹配安装；当横支承杆的安装槽安装在纵支承杆的卡位槽后所述横支承杆和纵支承杆的顶面平齐。本实用新型的拼接式的硅片承载框的抗变形能力强，拆装方便，并且便于存放
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209963033 U
(45)授权公告日
2020.01.17
(21)申请号 20192
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