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抛光系统.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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抛光系统.pdf

    本实用新型公开了一种抛光系统，包含：抛光液供应装置、以及抛光装置，是与抛光液供应装置相配对地设置，其中：抛光液供应装置包含出料口；以及抛光装置包含：上盘，其一侧设置有注入口，以及另一侧设置有凹槽，其中：注入口与凹槽相连通，并且注入口与出料口相对应地设置；下盘，是与上盘相对应地设置，其中上盘与下盘间是界定有容置空间，其中容置空间与凹槽相连通；载板，是可转动地设置于上盘、与下盘之间，其中：于载板上形成有固持孔；以及抛光板，是设置于下盘面向载板的一侧，以及上盘面向载板的一侧。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219444693 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202320494969.3 (22)申请日 2023.03.15 (73)专利权人 德久先进材料股份有限公司 地址

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