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本发明公开了一种柔性抛光工具、抛光方法及其抛光磁囊的制造方法，柔性抛光工具包括电磁铁和该抛光磁囊，抛光磁囊为采用磁流变弹性体制成的内部压力恒定的壁厚不均匀的磁囊，抛光方法则是采用该柔性抛光工具对待抛工件进行抛光，并在抛光过程中改变磁场强度和抛光角度。采用该抛光方法对待抛工件进行抛光，可以令抛光设备在控制柔性抛光工具走常规简易路径的情况下，降低抛光产生的中频误差，因此抛光设备无需运行随机路径，其不易抖动或损坏。而采用该抛光磁囊制造方法，可以根据现实使用的各种性能不同的抛光设备的参数，制造出与之相匹
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116512117 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202310517485.0 B24D 18/00 (2006.01)
(22)申请日 2023.05.
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