一种高分辨率扫描电镜辅助装置.pdfVIP

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2023-08-02 发布于四川
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本实用新型涉及扫描电镜技术领域，尤其涉及一种高分辨率扫描电镜辅助装置，本实用新型的创新点是：固定设有智能照明灯，进而实现调整光照的不同位置且不同高度的精准调节，进一步对于检测产品的自动寻找最佳的光照角度，进一步使其扫描的图像更加清楚，本实用新型是通过固定设有柔性的夹持机架进而根据样品室内不同尺寸且不同型号的样品台进行精准地固定，进而实现适用于不同形状的样品台，进而作为辅助装置更加便于拆卸与安装，进一步繁琐的安装步骤进行简单化，内设有转动的动力轴，进而实现对于材料的多个角度与不同位置多组检测，进而

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219457528 U (45)授权公告日 2023.08.01 (21)申请号 202223431583.2 (22)申请日 2022.12.21 (73)专利权人南京利源芯科技发展有限公司地址