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光学测量组件、半导体光学膜厚和线宽测量装置与方法.pdfVIP

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  • 2023-08-02 发布于四川
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光学测量组件、半导体光学膜厚和线宽测量装置与方法.pdf

    本发明公开了一种光学测量组件、半导体光学膜厚和线宽测量装置与方法，所述光学测量组件，包括：光阑底板，所述光阑底板上设置多个通孔，适于根据光学测量的需要选择透光的通孔，其它通孔进行遮蔽。本发明所提供的光学测量组件，能够根据测试需求快速的变换进入测量光路的孔径光阑的通孔，而改变进入测试接收端的光路，从而能够在一次样品测量操作中，快速的对测试样品进行不同入射角，不同方位角的分析。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116518851 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310340897.1 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人 江苏匠岭半导体有限公司 地址 2

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