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提供振动器件,该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有:振动元件,其具有振动基板和电极,该振动基板具有振动臂,该电极配置于振动基板;基体;支承基板,其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部,该支承基板相对于基体支承振动元件;布线图案,其配置于支承基板,与振动元件电连接;以及缓冲部件,其配置于支承基板的布线图案上,硬度比支承基板低。此外,缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧,在俯视支承基板时,该缓冲部件与振动臂重叠。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116527007 A
(43)申请公布日 2023.08.01
(21)申请号 202310674085.0 H03H 9/02 (2006.01)
(22)申请日 2020.08.2
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