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一种高纯四氟化锗气体的充装设备及充装方法.pdfVIP

一种高纯四氟化锗气体的充装设备及充装方法.pdf

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    本发明公开了一种高纯四氟化锗气体的充装设备及充装方法，由第一冷却台、第二冷却台、真空泵、第一贮存容器、第二贮存容器、低温冷冻液机组和常温冷冻液机组组成；所述第一贮存容器设置于第一冷却台上；所述第二贮存容器设置于第二冷却台上；第一贮存容器通过阀门b1与阀门b2、阀门b3、和真空泵连接；阀门b2与第二贮存容器连接；常温冷冻液机组通过阀门a4与阀门a1和第一冷却台连接；阀门a1与阀门a2和低温冷冻液机组连接；常温冷冻液机组通过阀门a5与阀门a3和第一冷却台连接；阀门a3与低温冷冻液机组和第二冷却台连连

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116518293 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310408611.9 (22)申请日 2023.04.17 (71)申请人 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 地址

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