蓝宝石晶片清洗缓冲装置.pdfVIP

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2023-08-03 发布于四川
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蓝宝石晶片清洗缓冲装置.pdf

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本实用新型涉及蓝宝石晶片的加工技术领域，尤其涉及一种蓝宝石晶片清洗缓冲装置：包括支撑台和控制机构；支撑台上设置有药液槽、水槽、风冷装置、机械臂抓取探测装置，控制机构控制风冷装置、机械臂抓取探测装置的动作；机械臂抓取装置包括立柱、支撑旋转轴、伸缩臂、机械连接件、机械抓手装置；机械抓手装置包括机械抓手、红外温度探测装置；控制机构控制机械抓手抓取放置晶片载具，晶片载具中盛放有晶片；红外温度探测装置与机械伸缩杆连接，位于机械抓手装置的中部，探测晶片温度。采用本实用新型所述的蓝宝石晶片清洗缓冲装置，减少晶

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209970778 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20192