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本实用新型提供一种抑制发生整合不良的薄片处理装置。实施方式的薄片处理装置具有处理托盘、纵向整合机构、横向整合机构和联动机构。处理托盘能够载置薄片。纵向整合机构具有可旋转的桨部件。纵向整合机构能够将载置在处理托盘上的薄片在薄片输送方向上进行整合。横向整合机构具有能够在薄片宽度方向移动的横向整合板。横向整合机构能够将载置在处理托盘上的薄片在薄片宽度方向上进行整合。联动机构使桨部件与横向整合板向薄片宽度方向的移动同步而在薄片宽度方向上联动。纵向整合机构还具有沿薄片宽度方向延伸的轴,桨部件与轴一体地旋转
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209973788 U
(45)授权公告日
2020.01.21
(21)申请号 20192
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