磁控溅射纳米疏水膜制备装置.pdfVIP

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2023-08-03 发布于四川
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磁控溅射纳米疏水膜制备装置.pdf

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本实用新型公开了一种磁控溅射纳米疏水膜制备装置，包括真空室、蒸发室、真空获得系统、真空计、充气系统、磁控溅射系统、转架和加热丝，所述磁控溅射系统包括偏压电源和磁控溅射阴极，所述偏压电源分别与转架和磁控溅射阴极电连接，所述磁控溅射阴极和真空计安装在真空室上，所述转架和加热丝安装在真空室内，所述蒸发室位于真空室下方，并与真空室通过管道相连通，所述蒸发室内设有电阻蒸发器，所述转架位于磁控溅射阴极与蒸发室之间，所述充气系统和真空获得系统分别与真空室相连接。本实用新型同时具备了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜这两种

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209974877 U (45)授权公告日 2020.01.21 (21)申请号 20192