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线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置.pdfVIP

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  • 2023-08-04 发布于四川
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线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置.pdf

    本实用新型公开了一种线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置。在对超净光滑表面进行检测时，本实用新型首先利用低放大倍率的线阵相机快速地扫描全口径并采集样品表面的暗场图像，提取缺陷的位置信息，然后利用配置高定倍光学系统的面阵相机定位每一个缺陷并对图像作进一步的数据处理分析，得到高精度的检测结果。这种检测模式不仅速度快，而且精度和灵敏度都更高。此外，本实用新型还搭载了距离传感系统，用于待测超净光滑表面的调平和成像系统的对焦，具有更快速的调整精度和稳定性。本实用新型解决了各种大口径超净光滑表面缺

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209992407 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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