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一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台.pdfVIP

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  • 2023-08-04 发布于四川
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一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台.pdf

    本实用新型提供了一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其能解决现有空间平动精密定位平台运动行程小、有效台面小、结构工艺性较差且平台的耦合误差与寄生转角较大导致平台定位精度不高的问题。其包括基座、动平台、刚性框架、第一柔性支链、第二柔性支链和电磁驱动器；四个第一柔性支链呈正方形分布在动平台的四周并位于刚性框架内，第一柔性支链、动平台和刚性框架布置在XY平面；第一柔性支链包括两个板面呈纵向设置的第一柔性薄板、四个板面呈纵向设置且与第一柔性薄板垂直的第二柔性薄板、两个板面呈水平设置的第三柔性

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209993352 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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