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一种循环式溅镀设备.pdfVIP

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  • 2023-08-04 发布于四川
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一种循环式溅镀设备.pdf

    本实用新型提供一种循环式溅镀设备，包括：溅镀装置I、溅镀装置II，所述溅镀装置I、溅镀装置II并排设置，所述溅镀装置I上设有溅镀气体存储罐，所述溅镀气体存储罐通过溅镀气体输送管连接于溅镀气体充气管上，溅镀装置I一侧设有循环排气管，循环排气管连接于循环泵，循环泵安装在循环泵固定座上，所述循环泵的出口连接有溅镀气体循环管，溅镀气体循环管连接于溅镀装置II的充气口上，溅镀装置II一侧设有溅镀气体回收管，溅镀气体回收管通过回收泵连接于溅镀气体回收罐上。本实用新型可以在溅镀装置I停机时及时将溅镀气体循环到

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209989458 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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