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一种晶片清洗干燥机.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种晶片清洗干燥机.pdf

    本实用新型公开了一种晶片清洗干燥机，该干燥机包括：上箱体，所述上箱体中设置有干燥组件；中箱体，所述中箱体中设置有用来承置晶片的花篮组件；以及下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体能够一起构成密封整体，所述下箱体中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管、用来向所述下箱体中供水的进水管和用来向外部排出水流的第一出水管。本实用新型的有益效果为提高晶片清洗的洁净度和干燥效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209998007 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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