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- 2023-08-05 发布于四川
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本发明公开了一种基板处理装置。本发明的基板处理装置在基板处理工艺时控制气体流动，提高温度的均匀度，并且可防止颗粒流进处理空间内。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111326447 A
(43)申请公布日
2020.06.23
(21)申请号 20191
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