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布气结构及具有其的反应腔体组件.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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布气结构及具有其的反应腔体组件.pdf

    本实用新型提供了一种布气结构及具有其的反应腔体组件，其中，布气结构包括：壳体，壳体包括侧壁，侧壁上设置有进气口和出气口，侧壁内具有气体通道，气体通道连通进气口和出气口。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中的镀膜时气体分布不均匀而造成镀膜质量不佳的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210001919 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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