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一种新型多晶硅铸锭石英坩埚.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种新型多晶硅铸锭石英坩埚.pdf

    本实用新型涉及一种新型多晶硅铸锭石英坩埚，属于多晶硅坩埚技术领域。包括底板和围绕该底板周边并由此向上延伸的侧壁，所述的距离所述底板四分之三处的侧壁的外壁减薄为凹槽。所述的凹槽较侧壁减薄8mm。本实用新型的有益效果是：本实用新型铸造多晶硅工艺与传统铸造工艺的差异之处在于多晶硅生长过程中使用的坩埚通过对多晶硅固液界面的控制，来保证多晶硅晶向一致性。在多晶硅铸锭成本几乎不变的情况下，可以有效减少晶粒之间的相互挤压，减少晶体生长过程中的热应力，提高多晶硅铸锭的良率。本实用新型保证了在距离坩埚底部四分之三

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210001961 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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