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一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘.pdf

    本实用新型公开一种用于稀土永磁磁控溅射镀膜的托盘，包括：托板；挡板，所述挡板设于所述托板的一侧的周壁上；加强板，所述加强板设于所述托板的另一侧，所述加强板上设有若干通孔。本实用新型采用托板与加强板固接双层组合的形式，提高了托盘强度，耐用不易变形，防止变形后磁钢翻料时出现磕碰和掉料，而且采用镂空的形式，减轻了托盘的重量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210001921 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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