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- 2023-08-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种等离子体刻蚀夹具，包括通过连接杆垂直连接的平行设置的上夹具板、下夹具板，还包括设置在所述上夹具板和/或所述下夹具板内表面的挡板，所述挡板与放置在所述上夹具板与所述下夹具板之间的硅片的外形匹配，所述凹槽与所述硅片的外形匹配。所述等离子体刻蚀夹具，通过在上夹具板和/或所述下夹具板内表面设置挡板，而挡板与需要进行等离子刻蚀的硅片的外形匹配，这样在进行等离子体刻蚀过程中，对于上夹具板、下夹具板就能够减少或避免，提高使用寿命，减少更换频率，只需要在对于不同型号的硅片进行等离子刻蚀时，只
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210006750 U
(45)授权公告日
2020.01.31
(21)申请号 20192
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