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薄膜厚度的测量装置.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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薄膜厚度的测量装置.pdf

    本实用新型提供一种薄膜厚度的测量装置，其包括：样品承载台，参考样品及待测样品能够放置在所述样品承载台上；第一测量组件，能够实现第一测量方法；第二测量组件，能够实现第二测量方法；比较模块，用于将所述第一测量组件的测量结果与第二测量组件的测量结果进行比较，以得到校准参数；校准模块，利用所述校准参数对所述第一测量组件的测量结果进行校准。本实用新型薄膜厚度的测量装置能够对超薄单层薄膜的厚度及多层薄膜层交叠设置的结构的薄膜层的厚度进行准确测量，提高测量精度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209991941 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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