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- 2023-08-05 发布于四川
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提供一种在接近销形成孔，并连接接近销的孔与真空孔，而防止在基板的热处理时产生气流的加热板、具备其的基板热处理装置及加热板的制造方法。本发明的加热板包括：主体部，在内部具有用于加热基板的加热器；多个第一孔，由主体部的上部向下方贯通主体部形成；多个接近销，形成于主体部的上部，以基板未与主体部的上部接触的方式支撑基板；及多个第二孔，形成于多个接近销中的至少一部分的接近销，并由接近销的表面向下方贯通接近销而形成，第一孔与第二孔相互连接，将第一孔与第二孔的内部制造为真空状态而固定基板。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 110854037 A
(43)申请公布日
2020.02.28
(21)申请号 20191
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