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一种晶元蓝膜张紧装置.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种晶元蓝膜张紧装置.pdf

    本实用新型提供了一种晶元蓝膜张紧装置，包括转轮，所述转轮的上端固定设置有安装板，所述安装板的中部设置有环形定位凸台，所述环形定位凸台上放置晶元蓝膜，所述安装板的上方设置有压板，所述压板的中部设有与所述定位凸台同心的取晶孔，所述压板通过竖直调节机构从上往下压紧所述晶元蓝膜的外周，通过将晶元蓝膜安装到环形定位凸台上，竖直调节机构从上往下压紧晶元蓝膜的外周，蓝膜被拉伸张紧使得蓝膜上的晶元间距更大更标准，晶元与蓝膜的吸附力减小，方便了后续的自动化取晶操作。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209993617 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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