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一种远程等离子清洁PECVD腔室的设备.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种远程等离子清洁PECVD腔室的设备.pdf

    本实用新型公开了一种远程等离子清洁PECVD腔室的设备，其包括腔室；用于提供气体的气柜；在腔室顶部，通过电缆与主机联接的远程等离子发生器，所述远程等离子发生器的进气口与气柜的出气口连接，远程等离子发生器的进出气口与腔室的进气口连接；在气柜和远程等离子发生器连接的管路上设有对气体进行通断及流量设定与控制的气体流量计及气动阀；与腔室连接的用于调节阻抗的匹配器。本实用新型通过远程等离子发生器在腔室外产生等离子再将等离子体导入腔室清洁实现清洁过程中对腔室内部洁效果进行同步观察，达到缩短清洁时间，改善清洁

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210001929 U (45)授权公告日 2020.01.31 (21)申请号 20192

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