一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备.pdfVIP

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  • 2023-08-05 发布于四川
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一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备.pdf

本实用新型涉及一种太阳能晶体硅片精准纠偏定位设备,包括1块订制载板、3台CCD相机、3套凸轮定位卡爪、1个X移动轴、1个Z移动轴、6套纠偏执行机构、2个订制载板阻挡装置,所述凸轮定位卡爪包括卡爪步进电机、卡爪、凸轮、凸轮轴承、卡爪线性导轨;所述纠偏执行机构包括X纠偏轴、Y纠偏轴、θ纠偏轴、Z升降轴以及自制吸盘。通过CCD相机拍摄定制载板和晶体硅片的位置、姿态,然后分析两者的位置、姿态的偏差数值,并将所述偏差数值反馈给纠偏执行机构,纠偏执行机构可同时对6片晶体硅片的X方向、Y方向以及角度的精确调整

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209993612 U (45)授权公告日 2020.01.24 (21)申请号 20192

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