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一种移动平台.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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一种移动平台.pdf

    本实用新型提供了一种移动平台，用于承载并转移干法刻蚀机台的上腔体，移动平台包括移动机构、支撑柱、载台和基座，支撑柱的一端与移动机构连接，另一端与载台连接，基座固定在载台的承载面上，所述基座的承载面用于在其转移过程中放置上腔体，载台沿其厚度方向具有第一通孔，基座沿其厚度方向具有第二通孔，第二通孔叠加在第一通孔上，第一通孔和第二通孔用于避免位于其中的部分上腔体触碰到载台和基座。本实用新型通过移动平台将拆卸下的上腔体移至他处进行维护，其减轻维护人员的作业负荷，消除了维护人员的安全隐患，同时可以使得上、

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210012289 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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