一种磁控溅射镀膜用真空箱.pdfVIP

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  • 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型创造提供了一种磁控溅射镀膜用真空箱,包括箱体和箱体上转动安装的门体,所述箱体上朝向门体的一侧设有密封条、以及用于固定门体的拉紧机构;所述门体边缘设有外裙板,箱体上对应外裙板设有内裙板,所述拉紧机构包括外裙板上滑动设置的拉板、以及箱体上用于拉紧拉板的伸缩拉杆;所述拉板设置在外裙板上异于箱体的一侧,外裙板和内裙板上均设有用于伸缩拉杆通过的通孔,伸缩拉杆穿过通孔的一端设有用于容纳拉板的过孔。本实用新型创造结构简单,易于操作,且密封性能很好,通过设置多个拉紧机构,伸缩拉杆和拉板可以持续稳定的拉

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210012894 U (45)授权公告日 2020.02.04 (21)申请号 20192

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