原创力文档- 1
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- 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，涉及单晶硅片生产技术领域。本实用新型包括箱体、托板、鼓风机、集尘箱和储气瓶，箱体一内壁开有第一槽孔，箱体一表面开有一组第二槽孔，第二槽孔与第一槽孔相互连通，箱体内部开有第四槽孔。本实用新型通过气流将单晶硅片生产过程产生的杂质吹送至集尘箱中，带有热量的气流经过过滤网的过滤，会被鼓风机再次输送至第四管体中加热，再次回流到箱体中，从而使得该装置热量流失更少，降低了单晶硅片的生产成本，通过第二槽孔向箱体中上卸料，并在第一槽孔中设有挡板可以随时封闭第二槽孔与箱体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210012927 U
(45)授权公告日
2020.02.04
(21)申请号 20192
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