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本实用新型涉及一种硅片生产用外径滚磨机构,包括底板、转动机构和固定机构,所述底板的上端面上安装有转动机构,转动机构的内部安装有固定机构,转动机构包括前侧板,底板上端面的前端安装有前侧板,前侧板的中部设有圆孔,圆孔内通过轴承安装有进料筒,进料筒外侧壁的中部安装有转动支链,进料筒的后端面沿其周向方向均匀设有固定孔。本实用新型可以解决现有滚磨技术中可能存在的晶棒产生波纹状研磨痕迹、晶棒滚磨不能达到晶棒需要的直径、晶棒滚磨步骤繁琐、研磨机械不能根据需要调整,安装及拆卸困难和生产效率低等问题,可以实现晶棒
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210010826 U
(45)授权公告日
2020.02.04
(21)申请号 20182
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