原创力文档- 1
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- 2023-08-06 发布于四川
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本实用新型提供了一种传送过渡单元，可用于光阻涂布机中。当机械手臂将晶圆送到传送过渡单元时，如果第一检测机构没有检测到晶圆，那么就有可能发生掉片或者晶圆破损。此时光阻涂布机中的信号处理器件会接收到来自第一检测机构的异常信号，并给出预警信号，技术人员就可以及时检查设备并发现问题。除此之外，还可以在支撑杆上设置第二检测机构用于检测晶圆的位置。利用本实用新型提出的结构可以降低晶圆重工以及报废甚至污染其它晶圆的概率，还可减少不必要的怠机，从而提高产品的良率，提高设备的正常运行时间。另外，本实用新型提出的结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210015843 U
(45)授权公告日
2020.02.04
(21)申请号 20192
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